Zum Inhalt springen
TAKTWERKLineartechnik

Alle Anwendungen

Im Reinraum zählt, was die Achse nicht abgibt.

Aufgabe

Ein Handhabungsportal über einer Reihe von Prozessanlagen soll Wafer zwischen den Stationen umsetzen. Jedes Partikel, das die Achse selbst erzeugt, landet auf dem Produkt.

Lösung

Wir bauen das Portal aus zwei LD-190 in der Waagerechten und einer LH-90 als Hubachse. Die LD hat keinen Riemen, der Abrieb erzeugen könnte, und läuft mit gekapselten Führungswagen und Absaugung an beiden Kopfstücken.

Handhabung im Reinraum, ohne Abrieb und ohne Riemen.
ISO 5Reinraumklasse
±0,002 mmWiederholgenauigkeit
1,4 sTakt je Wafer
0Riemen in der Anlage

Warum kein Zahnriemen

Ein Zahnriemen gibt über die Laufzeit Material ab. Im Reinraum ist das die Quelle, die man nicht abstellen kann, ohne den Antrieb zu wechseln.

Absaugung an beiden Enden

An den Kopfstücken sitzt je ein Anschluss für die Reinraumabsaugung. Die Luft wird entlang der Profilnut geführt und nimmt mit, was an den Wagen entsteht.

Die Hubachse hält auch beim Not-Halt

Über dem Produkt darf nichts absacken. Die LH-90 trägt eine Federdruckbremse, die bei jedem Not-Halt einfällt, und wird mit doppelter Nennlast geprüft.

Eingesetzte Baureihen

Alle Anwendungen